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碳化硅陶瓷(石墨、碳黑等。)加入到碳化硅中，然后埋入碳中，在1450燒制，使硅粉與碳反應生成低溫-SiC，使原來的碳化硅顆粒結合。另一種方法：碳a化硅制品是由碳和金屬硅直接反應生成的，即碳或碳和碳化硅成型，硅埋燒。兩種方法都能生產出性能良好的碳化硅產品。由于產品一般含有8% ~ 15%的游離硅和少量的游離碳，使用溫度低于1400。它的導熱性和抗沖擊性好，但強度、硬度和耐腐蝕性差。反應燒結碳化硅制品在燒結前后尺寸幾乎不變，因此成型后可以加工成任何形狀和尺寸，特別適合形狀復雜的大型制品。